THIẾT BỊ PHÂN TÍCH THÀNH PHẦN LỚP MẠ - HỢP KIM

PHÂN TÍCH THÀNH PHẦN 

Tính năng kỹ thuật:

• Là máy quang phổ huỳnh quang tia X dạng micro thế hệ thứ 3
• Kích thước điểm phân tích của mẫu là nhỏ nhất với sử dụng hệ quang Xray, với kích thước điểm từ 20µm tới 300µm
• Ống kính mao quản Xray thu nhận một lượng của ống bức xạ và tập trung tia Xray để phân tích khu vực, cho độ chính xác cao mặc dù sử dụng ống Xray công suất thấp
• Đặc trưng Eagle III μ-Probe:
• • Giới hạn phát hiện thấp 10 - 50 ppm
  • Phân tích không phá hủy, kể cả những mẫu có hình dạng không đồng đều nghĩa là kích thước nhỏ của vùng phát xạ
  • Buồng mẫu phân tích lớn, phù hợp với những mẫu cồng kềnh phức tạp
  • Có thể phân tích ở môi trường chân không, môi trường không khí hoặc khí Heli (option); các mẫu hữu cơ hoặc mẫu ướt được phân tích nguyên tố tới Z = 15
  • Điều chỉnh linh hoạt kích thước vùng phát xạ với chức năng "varispot" hoặc điều chỉnh hệ quang mao quản

Thông số kỹ thuật:

• Nguồn phát HV: 40 kV (50 kV), chương trình 1 mA, độ ổn định < 0.01 %
• Ống Xray: ống tập trung micro (micro forcus), cửa sổ Be, kích thước điểm phân tích 80x80µm, làm lạnh bằng không khí
• Vật liệu Anode: Rh (optional Mo, W)
• Hệ quang học:
• • mao quản đơn 300 µm (monocapillary)
  • hoặc ống kính mao quản từ 20 μm tới 40 μm (option)
  • thay đổi kích thước điểm phân tích từ 30 µm đến 400 µm với chức năng "varispot"
• Detector: Si(Li) với 30 hoặc 80 mm², độ phân giải năng lượng < 135eV hoặc 150 eV
• Buồng mẫu: Ø 330 mm x 350 mm (Optional 700 x 700 x 700 mm cho model XXL), kiểm soát chân không
• Dải nguyên tố phân tích: Na (chân không) hoặc P (không khí) đến U
• Bộ định vị mẫu: chuyển động cơ học theo chiều X – Y – Z, bước rộng 5 μm
• Khoảng cách chuyển động tối đa 100 x 100 x 100 mm, (optional 300 x 300 x 300 mm cho model XXL)
• Hệ thống video: 2 hệ thống video màu với vùng nhìn thấy 20 x 15 mm và 1.5 x 1.1 mm, zoom điện tử
• An toàn bức xạ : tuân theo tiêu chuẩn an toàn cao nhất của Đức
• Kích thước: H: 600 mm, W: 700 mm, D: 400 m
• Thiết bị bao gồm máy quang phổ, bộ phân tích điện tử, PC, bơm chân không
• Phần mềm WINDOWS 2000 hoặc WINDOWS XP
• Chương trình quang phổ cho điều khiển thiết bị, thu thập dữ liệu quang phổ và đánh giá dữ liệu
• Kiểm soát mẫu giai đoạn: đơn điểm, LineScan, lập biểu đồ
• Chất lượng: không theo tiêu chuẩn (sai số 1 – 2%) hoặc theo tiêu chuẩn (sai số 0,2 – 0,5 %) độ dày lớp phủ và thành phần
• Eagle Imaging: phần mềm xử lý hình ảnh lập biểu đồ nguyên tố